EUV konkurencija kreće se od periferne poluvodičke opreme

Prednost Tokyo Electronics je „Coater Developer“. Ova oprema koristi se za premazivanje posebne hemijske tekućine na silikonskoj pločici kao poluvodičkog materijala kako bi se razvio. Na području opreme za masovnu proizvodnju EUV-a, tržišni udio kompanije je 100%. Očekuje se da će konsolidovana prodaja za ovu fiskalnu godinu dostići 1,28 biliona jena. Više od 10% toga iskoristiće se za istraživanje i razvoj radi učvršćivanja vodeće prednosti u fazi popularizacije EUV-a.

Na tržištu opreme za proizvodnju poluvodiča koji iznosi više od 6 bilijuna jena godišnje događaju se generacijske promjene.

Što je finija širina linije poluvodiča, to su veće performanse i trenutno najsuvremeniji proizvod je 5 nanometara. Za prijenos takvog tankog kruga u silikonsku rezu, neophodna je upotreba litografske mašine EUV. Uz sve veću opskrbu ASML-om, jedinom masovno proizvedenom EUV metodom u svijetu, započela je i razvojna konkurencija koja uključuje periferne uređaje poput prevlačenja i izvora svjetlosti.

Simbol promjene generacije je proizvođač testne opreme Lasertec. Ako postoje nedostaci fotomaske kao izvorne ploče, brzina defekacije poluvodiča će se povećati u skladu s tim. Kompanija proizvodi testnu opremu koja podržava EUV, a njezine narudžbe od jula 2019. do marta 2020. godine povećane su 2,2 puta u odnosu na isti period prošle godine, dosegnuvši 65,8 milijardi jena. Očekuje se da će dvije trećine godišnjih naloga biti povezano sa EUV-om.

Pored toga, vode se i žestoke sukobe japanskih kompanija. Na polju strojeva za pisanje maski s elektronskim snopom, Toshibina tehnologija NuFlare sustiže savez između JEOL-a i IMS NANOFABRICATION (Austrija). Fokus je na razvoju „Multi-Beam“ tehnologije koja koristi 260 000 laserskih zraka.

Toshiba je u siječnju odbila HOYA, koji je pokrenuo neprijateljski TOB (ponuda za javni natječaj) i učvrstio svoju kontrolu nad Niu Fulai. 25 novootvorenih razvojnih tehničara itd. Planiraju u roku od 2020. isporučiti opremu za litografiju sljedeće generacije koja podržava EUV.

Gigaphoton (smješten u gradu Oyama, prefektura Tochigi), podružnica Komatsua koja proizvodi laserske izvore, raduje se povratku. Prije pojave EUV-a, kompanija je postala jedno od prva dva na području izvora svjetlosti za litografske mašine. Međutim, iz razloga poput nabavke konkurenta od strane ASML-a, trenutno gubi prisustvo. Gigaphoton nastoji razviti komponente sa visokim izlaznim izvorom svetlosti pre nego što ASML lansira EUV opremu nove generacije kako bi povratio udio na tržištu.

Pozadina kompanija za ubrzanje razvoja EUV opreme je takmičenje u minijaturizaciji koje su pokrenuli južnokorejski Samsung Electronics i TSMC. Potražnja za visokoučinkovitim poluvodičima kao što je 5G je velika, a dvije se kompanije natječu za svaku litografsku mašinu ASML-a vrijednu više od 20 milijardi jena. U ovom procesu, poslovne mogućnosti za okolne kompanije za proizvodnju proizvodne opreme također se proširuju.

Statistički podaci Međunarodnog udruženja za opremu i materijale za poluvodiče (SEMI) i Japanskog udruženja za proizvodnju opreme za proizvodnju poluvodiča (SEAJ) pokazuju da je tržišni udio opreme za proizvodnju poluvodiča proizveden u Japanu 31,3% u 2019. godini, a koji je u prošlosti iznosio oko 30%. 20 godina.

Nikon i Canon su na području opreme za litografiju prethodno progutali svjetsko tržište, ali nisu uspjeli u konkurenciji s ASML-om i zaostali su u razvoju EUV-a. U polju poluvodiča, kako proces proizvodnje postaje težak, tendencija pobednika-sve-više raste. Promjena generacija koja EUV uzima kao priliku također će ubrzati opstanak najboljih osoba u kompanijama za opremu.

"Prestalo je ulaganje u vrhunsku opremu na kopnu", uzdahnuo je šef tvrtki za dijelove i dijelove koji se odnose na EUV. Kako ga nizozemska vlada nije odobrila, ASML nije bio u mogućnosti da izvozi EUV-ove litografske mašine na kopno. Osim toga, obustavlja se i kupnja periferne opreme i dijelova.

Iza Kine i SAD-a stoje trgovinske trke. Ako se ASML oprema ne može uvesti, proizvođači kopnenih poluvodiča će zaostajati u konkurenciji za minijaturizaciju. Vlada kopna iznosi cilj da stopa samodovoljnosti poluvodiča dostigne 40% do 2020. i 70% do 2025. godine, ali to je teško postići. Mnogi mišljenja smatraju da su Sjedinjene Države izvršile pritisak na holandsku vladu da je iskoristi kao oružje sankcija.

Statistički podaci Međunarodnog udruženja za opremu i materijale za poluvodiče pokazuju da je tržište opreme za proizvodnju poluvodiča u 2019. godini iznosilo 59,7 milijardi američkih dolara, što je povećanje za 59% u odnosu na 2014. Tijekom tog razdoblja tržište kopna je povećalo svoje prisustvo i svoj udio u svijetu ukupno tržište je povećano sa 11,6% u 2014. na 22,5%. Za japanske kompanije za proizvodnju poluvodiča, kopno je postalo tržište koje je teško zanemariti.

Razvoj EUV tehnologije je težak, a troškovi istraživanja i razvoja svih kompanija se povećavaju. Ako se tržište više ne širi, povrat ulaganja kompanija će se odgoditi, a razvoj novih tehnologija možda je teško unaprijediti.